レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、
高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。
散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって
用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。
■装置の特長
・高速検査（約181秒/12inch）
・レビュー用顕微鏡を搭載
・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能
・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能
・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能
基本情報レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
【検出】
方 式： レーザー散乱方式および正反射方式
検出サイズ： PSL50nm相当の欠陥
【レビュー機能】
顕 微 鏡： レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡
【対象基板】
種 類： 透明体を含む各種基板
サ イ ズ： ２～１２inch、形状など別途相談に応じます
【装置サイズ】
外形寸法 ： W1,800 x D2,100 x H1,985 (mm)
質 量： 約1200kg
| 価格情報 | 詳しくはお問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | K-LE-G200 |
| 用途／実績例 | 詳しくはお問い合わせください |
カタログレビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
取扱企業レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
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