アブソデックス(ABSODEX) AX1R/2R/4R・AXD

PR軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付ける…

簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、 設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生産効率UPに貢献します。 【生産設備のシンプル化】 複数の部品を組み合わせて構成したインデックステーブルの機構をアブソデックス1つで置換え可能。 部品点数・設計工数の削減や、省スペース・センサレス・メンテナンスフリーなど、生産設備のシンプル化に貢献。 【フレキシブル動作】...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

プラズマアッシング処理装置『WPA800S』

様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です！

『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式 プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等の多様なプロセス用途に 利用が可能です。 【特長】 ■同軸バレル構造 ■50枚バッチ式 ■ウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー