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低温ALD装置とバレル機構の融合
自社開発のバレル機構による均一撹拌とバラつきのない膜厚・膜質を実現 ・粉体材料や極小部品表面に均一に高品質な成膜が可能 ・平面ではないワーク形状や他の方法では成膜できなかった材料などにも技術応用可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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