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    プラズマアッシング処理装置『WPA800S』

    様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です！

    ッシング装置です。 ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等の多様なプロセス用途に 利用が可能です。 【特長】 ■同軸バレル構造 ■50枚バッチ式 ■ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応 ■簡単レシピ入力 ※詳しくはカタログをご覧...

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

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