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静電チャックと制御電源の間に接続することで、静電チャックと対象物の状態…
クリエイティブテクノロジーの『吸着モニターユニット』は、静電容量を検出することで、静電チャックと対象物の吸着状態を常時モニタリングできるツールです。 静電チャックや電源の改造をすることなく、静電チャックと電源の間に接続するだけで、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能です。 【特長】 ■対象物の吸着状態を常時モニタリング ■突発的な不具合の検出可能 ■...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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