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結晶欠陥測定装置 (光散乱断層撮影式)
LSTは、CCDカメラを使用し、切断されたウェハーサンプル断面の結晶欠陥を測定します。...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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