昇圧機能付き『純水加温ユニット』

新標準の純水加温ユニット！ 昇圧機能を搭載しているので、新旧工場に柔軟…

『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。 また、昇圧機能付きなので、サブファブへの設置が可能で、クリーンルームにスペースが生まれます。 独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。 場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス