株式会社 SCREEN SPEサービス 昇圧機能付き『純水加温ユニット』
- 最終更新日：2023-06-26 22:38:25.0
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新標準の純水加温ユニット！ 昇圧機能を搭載しているので、新旧工場に柔軟に対応します。
『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。
また、昇圧機能付きなので、サブファブへの設置が可能で、クリーンルームにスペースが生まれます。
独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。
場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境にも
昇圧機能搭載なので、1次側の圧力変動に影響されず、安定した供給が可能です。
昇圧機能無しの純水加温ユニットも含め、多くのラインナップを用意しています。
【特長】
■昇圧機能を搭載（選択オプション）
■限られたスペースに設置可能
■投資コスト低減にも寄与
■独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計
■加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報昇圧機能付き『純水加温ユニット』
【ラインアップ】
■JH-72S-SBX
■JH-96S-SBX
■JH-144S-SBX
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■製造工程で温水純水が必要なプロセスへの対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ昇圧機能付き『純水加温ユニット』
取扱企業昇圧機能付き『純水加温ユニット』
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・半導体製造装置の立ち上げ・セットアップ ・半導体製造装置の仕様変更 ・半導体製造装置の修理 ・半導体製造装置のリフレッシュ・プリメンテサービス ・半導体製造装置のプロセス最適化・延命化支援 ・半導体製造装置の移設・解体 ・保守契約による各種技術サービス ・周辺機器の開発・設計・製造・販売 ・周辺機器の修理 ・耐薬エプロンSEBAPRON（セバプロン）の販売 ・装置消耗部品の販売
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