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自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット!正確な原子間力顕微鏡をご紹…
向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000%向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スルー...
メーカー・取り扱い企業: パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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