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超高真空・極低酸素雰囲気に対応!
本製品は、高温、超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製 マイクロチャンバーです。 4組の測定プローブ(深針)は、3軸(X,Y,Z)ステージにより高精度に 位置決めが可能であり、ぺルチェ素子やマイクロヒーターを組込み、 試料の加熱冷却が可能です。 付属ターボ分子ポンプにより到達真空1×10E-6Paの高真空雰囲気が 得られます。 【特長】 ■”リークゼロ”の超高真空(1x...
メーカー・取り扱い企業: エスティー・ラボ株式会社
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