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SRA:広がり抵抗測定法
1. 斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗(Ω)を測定する 2. 標準試料の測定より校正曲線*)を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗(Ω・cm)に換算するまた、必要に応じて体積補正による分布の補正を行う *)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります 3. 比抵抗...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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