【分析事例】SRAの濃度換算について一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SRA：広がり抵抗測定法

１. 斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗（Ω）を測定する
２. 標準試料の測定より校正曲線＊）を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗（Ω・cm）に換算するまた、必要に応じて体積補正による分布の補正を行う
＊)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります
３. 比抵抗とキャリア濃度の関係式＊）を用いてキャリア濃度(/cm3) を算出する

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