半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

超精密位置決めステージ『モンブランシリーズ』

300種類を超える多彩なラインアップ！様々な組み合わせが可能です

『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショ...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社