半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ神津精機

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。

【RSTアライナー】
■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に
■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現
■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能
■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在
■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能
■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応

【YRAシリーズ】
■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現
■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造
■用途に合わせた4型式をラインアップ
・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ
・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能
・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適
・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様

基本情報半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

【仕様】
■RSTA-005
　・テーブルサイズ：φ400mm（透過穴：φ230mm）
　・移動範囲XY・θ：±3mm・2°
　※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能
■YRA-070
　・テーブルサイズ：70mm×70mm
　・移動範囲XY・θ：±3mm・±3°
■YRA-071
　・テーブルサイズ：70mm×70mm
　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5°
■YRA-131
　・テーブルサイズ：130mm×130mm
　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5°
■YRA-200
　・テーブルサイズ：210mm×150mm
　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5°

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納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■RSTアライナー・ウエハ接合装置・露光装置・各種基板の通電検査装置・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ・小型デバイスの組み立て・中小型液晶やウエハの貼り合わせ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。