プラズマアッシング処理装置『WPA800S』

様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です！

『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式 プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等の多様なプロセス用途に 利用が可能です。 【特長】 ■同軸バレル構造 ■50枚バッチ式 ■ウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

ディスク型遠心分離機『TCS120』＜食品・飲料等＞

高遠心力・大きな遠心沈降面積で高効率な分離を実現したサニタリ仕様のディ…

『TCS120』は固-液、液-液、固-液-液の分離が可能な食品・飲料・ファインケミカル等に ご活用いただけるサニタリ仕様のディスク型遠心分離機です。 全量・部分排出を組合わせることで軽液の歩留り向上と、固形物の 閉塞を抑えた安定的な運転を両立。また、軽量かつシンプル構造により、 メンテナンス性及び冷却機能性を向上しました。 デカンタ型遠心分離機と組合せることで、より高度な分離が可能です。 【...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 本社