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ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステ…
ルフィルタ品番：P512612 ○設定風量：2,600m3/hr ○寸法：幅850mm×高さ1,850mm×奥行1,200mm ○概算重量（フィルタ込）：600kg ○操作用電源：不要 ○気密用圧縮空気：不要 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社
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