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ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステ…
ルフィルタ品番:P512612 ○設定風量:2,600m3/hr ○寸法:幅850mm×高さ1,850mm×奥行1,200mm ○概算重量(フィルタ込):600kg ○操作用電源:不要 ○気密用圧縮空気:不要 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 日本ドナルドソン株式会社
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