廃溶剤をリサイクル利用！自動溶剤再生装置

取り出したい溶剤だけを取り出せる！廃棄費用、溶剤購入費用の削減につなが…

自動溶剤再生装置『Solvent Recycler』は、廃溶剤を加熱し、取り出したい溶剤を気化させて それを冷却することで再度液体に戻すという、蒸留再生システムです。 再生させようとする溶剤の沸点に合わせて気化するまで加熱し、 取り出したい溶剤だけを出すことができます。 また、溶剤を再生した後の残渣物の取り出しも簡単です。 液状の場合はタンク中心部のドレン穴から排出可能。 固形化、ゲル状などの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マブチ・エスアンドティー

燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置です

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内の ウェットスクラバーにて後処理します。 【特長】 ・燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。 ・最大処理流...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社