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ウエハーの検査に好適!サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します
■光源:赤色レーザー(633nm) ■対物レンズ:倍率20x、NAO.4 ■本体外形寸法:W313×D614×H428 ■本体重量:約27kg ■ソフトウェア:LabVIEW ■クランプ治具:導電性PET 180×180mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ツクモ工学株式会社 本社工場
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