フッ素樹脂コーティング講座　セミコン用のコーティング

半導体製造装置部品への適用に最適！特性をわかりやすく表で解説！

けによって施工されていきます。つまり、表面は溶融によってレベリングしており、パーティクルが入り込める隙間は実質的には存在しません。 同様に、レベリングした表面は、フッ素樹脂の非粘着性を最大とし、洗浄液の付着・持ち出しを軽減し、洗浄効率を上昇させることができます。 以上より、フッ素樹脂コーティングは洗浄装置に適した表面処理と考えています。また、実際にいろいろな装置で使用されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社