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有機・無機問わず高いエッチング効果！
510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg ガス系 マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流量計 ステージ寸法 φ200mm 電源 AC100V 50/60Hz 15A 真空ポンプ 135/160 ( リットル/min ) 操作方...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
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