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電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステム
レベルで解析するシステムです。 当製品は、セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用 プローバシステムと、当社の各種光計測用光学系 M-Scopeシリーズ、測定光源、 測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・ データ収集を行うシステムです。 また、セミオートプローバとの組み合わせにより、ウエハの自動測定に対応することも可能です。...
メーカー・取り扱い企業: シナジーオプトシステムズ株式会社
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