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BGAパッケージから12”ウエーハまで対応できます！
□BGAパッケージ用は、コンパクトなのに6ゾーン仕様。 □炉内の酸素濃度 100ppm以下を実現。 □面内温度分布： ±2℃。 □触媒装置内臓で炉内浄化に効果。 □ウエーハ搬送は独自開発のウオーキングビーム方式。...
メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社
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