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エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの…
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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