超高純度ガス用圧力調整器『SRQ-1HL・SRQ-1LL』

高純度ガス(純度99.999～99.99999％)や半導体用ガス・腐食…

能な圧力調整器です。 スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。 オプションで組立環境(クラス10000orクラス10)や洗浄(禁油禁水のみor純粋洗浄)、電解研磨(ありorなし)などの選択が可能なので、ガス使用用途によりカスタマイズが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社