ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

ドラフトチャンバー『ウォークインタイプ DFW型』

PR内部に大型の実験装置や機器を組込めるウォークインタイプのドラフトチャン…

『ウォークインタイプ DFW型』は、多田製作所社製のドラフトチャンバーです。 ドラフトチャンバー内部は床面より十分な有効高さを持っていますので、 フード内に大型の装置や機器を組み立てたり、外部で組み立てた装置を フード内に移動させることも容易に行えます。 独自の気流設計により床面に発生するガスもスムーズに排気されます。 オールステンレス製や防爆仕様等、ご要望に応じた設計が可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社多田製作所

日本フッソ工業　半導体製造装置

ウエット洗浄装置

高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。 ...【特徴】 ○表面の汚染物質の付着が少なくなる ○パーティクルが発生しにくい ○Siウェハのエッジのダメージが減少する ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能 ○熱伝導の効率が向上 ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度ア...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

コンタミレス軸封構造「ノンメタルPEC」

コンタミネーション対策を実現した軸封構造！

近年、特に電子材料・医薬をはじめとするファインケミカル製造プロセスにおける反応槽・撹拌槽・乾燥機などの機器は、耐食性・洗浄性・金属イオン溶出防止などの機能が要求され、そのレベルは年々厳しくなっています。 さらに、大きな問題は異物対策（コンタミネーション対策）です。 タンク類における異物対策はフッ素樹脂焼付コーティングなどを施工することでほとんど解決してきましたが、撹拌装置軸封部からの摩耗粉...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社