半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。 使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。 クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。 【...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

大気中トリチウム捕集装置 「AT-503-H7S型」

大気中のトリチウム濃度を分析測定！サンプリング実験装置

大気中トリチウム捕集装置 「AT-503-H7S型」は、大気のトリチウム濃度を分析測定するためのサンプリング実験装置です。 大気中の水素成分を化学形別（HTO・HT・CH3T）に捕集し、捕集後、モリキュラーシーブ（吸湿剤）を加熱脱湿して、水分の回収までを自動で行います。 【特徴】 ○捕集にはモリキュラーシーブと酸化触媒を組み合わせ、HTOはモリキュラーシーブで回収 ○HT・CH3Tは酸...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

自動車専用熱交換器の耐久試験用「熱交換部材腐食試験装置」

【事例集無料進呈中】大型から小型の熱交換部材に対応可能な連続運転式腐食…

オーエヌ総合電機　オリジナルの「熱交換部材腐食試験装置」は、大型から小型の熱交換部材に対応し、連続運転で腐食テストが行える自動車専用熱交換器です。 沸点近くの高温域でも、キャビテーションの発生を防ぐ機能を有しているため、無人の連続運転も可能です。 ※詳しくは、導入事例集をご覧いただくか、お問い合わせください。...※詳しくは、導入事例集をご覧いただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社