電子顕微鏡関連機器　電子線描画用パターン発生装置 SPG-724

お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能です。

電子線描画装置用パターン発生装置 SPG‐724は、半導体を製造するためのものではなく微細回路・微小光学部品・ナノマシンの研究開発を行うためのものです。 電子線発生と偏向は、SEMそのもので行っています。SPC‐724をSEM...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

装置 →RFマグネトロンスパッタ装置：Iシリーズ/IIシリーズ [電子顕微鏡関連機器] ○SUP/SDM/SPGシリーズ →SEM画像取込装置 →三次元計測装置 →電子線描画用パターン発生装置 ○SSM/SS/SHシリーズ →カソードルミネッセンス検出器システム →EBIC計測システム →SEM用疲労試験装置 →SEM用加熱ホルダ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社