ALICATマスフローコントローラーMCD（デュアルバルブ）

バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えま…

『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意し...

メーカー・取り扱い企業： 日本スターテクノ株式会社

ALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ （真空用）

MCV/MCVSシリーズ（真空用シャットオフバルブ搭載）のALICAT…

『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ...

メーカー・取り扱い企業： 日本スターテクノ株式会社