日本スターテクノ株式会社 ALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ (真空用)
- 最終更新日:2020-11-27 18:52:52.0
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『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。
【特長】
■100msの制御応答
■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度
■10SCCMから20SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ (真空用)
【ラインアップ】
■MC/MCP/MCRシリーズ(標準タイプ)
■MCS/MCRSシリーズ(腐食性ガス/冷媒ガス対応)
■MCW/MCRWシリーズ(低圧力損失タイプ)
■MCQ/MCRWシリーズ(高圧タイプ)
■MCE/MCESシリーズ(SEMI規格)
■MCV/MCVSシリーズ(シャットオフバルブ搭載)
■MCD/MCRDシリーズ(デュアルバルブ)
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ (真空用)
取扱企業ALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ (真空用)
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■高圧、低流量、および様々な特性の流体を正確に測定可能なコリオリ式マスフローメーター/コントローラー CODAシリーズ ■高性能マスフローメーター/コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失マスフローメーター/コントローラー MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応マスフローメーター/コントローラー MS/MCSシリーズ ■液体用フローメーター /コントローラー L/LC/LCRシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCV/MCVSシリーズ ■SEMI規格対応バルブ内蔵タイプMCE/MCESシリーズ ■デュアルバルブMCD/MCRDシリーズ ■圧力計/圧力コントローラーP/PC/PC3/PCD/PCRシリーズ ■OEM供給用に開発された小型でローコストのマスフローコントローラーBASISシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■コリオリ高圧低流量高精度フローコントローラーCODAシリーズ
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