マイクロチャンバー

超高真空・極低酸素雰囲気に対応！

本製品は、高温、超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製 マイクロチャンバーです。 4組の測定プローブ（深針）は、3軸（X,Y,Z）ステージにより高精度に 位置決めが可能であり、ぺルチェ素子やマイクロヒーターを組込み、 試料の加熱冷却が可能です。 付属ターボ分子ポンプにより到達真空1×10E-6Paの高真空雰囲気が 得られます。 【特長】 ■”リークゼロ”の超高真空...

メーカー・取り扱い企業： エスティー・ラボ株式会社