バッチ式プラズマクリーナー　PT-655S

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。

0Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス O2、Ar（オプション　1ライン増設可） ○パージガス N2（スローライン有） ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ） ○真空ポンプ ロータリーポンプ　1300L/min ○本体寸法 幅880×奥880×高1600ｍｍ ○本体重量 約400kg ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト