アプリケーション例『純水・超純水製造：超純水（UPW）』

超純水（UPW）の供給用バルブと流量計をご提案

超純水（UPW）は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。 このような製造工程中のウェハー...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社