【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用

要求される鏡面を簡単にクリアー！ファインバブルを使用して解決した事例

ご紹介します。 数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、研削液配管途中に OKノズルを設置。ファインバブルを使用して解決しました。 また、ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃が常に確保され、 研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られました。 【事例概要】 ■課題：数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができなかった ■対応：研削液配管途中にOKノズルを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社OKエンジニアリング