有限会社OKエンジニアリング 【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用
- 最終更新日：2022-07-04 17:18:25.0
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シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用した事例を
ご紹介します。
数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、研削液配管途中に
OKノズルを設置。ファインバブルを使用して解決しました。
また、ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃が常に確保され、
研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られました。
【事例概要】
■課題：数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができなかった
■対応：研削液配管途中にOKノズルを設置
■効果
・感謝の言葉を頂いた
・ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃を常に確保
・研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られた
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基本情報【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用
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カタログ【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用
取扱企業【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用
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＜マイクロバブル発生ノズル、装置の研究・開発＞ 新型ループ流式マイクロバブル発生ノズルを開発。 このノズルはシャワーホースに取り付け可能で●浴槽 に入れるとマイクロバブルバスに●浴槽の中でエアーを 自吸させると簡易ジャグジーに●マイクロバブルシャワ ーに●エアーを自吸させるとバブルシャワーとなり脈動 で強弱がある。家庭用から工業用と広く応用可能。 今回開発したノズルは、既存のマイクロバブル発生メカニズムと異なります。「新型ノズル」は、名づけて複合的多段階乱流方式＝ループ流方式です。既存のノズルと比較して、機能性、シンプルさ、価格を総合的に判断すると高い評価を得るものと思います。 新型ノズルは真空度が高いのが特徴です。50個ほど試作した中で一番真空度の高いノズルは−0.08７Mpaもあり、８７％の真空度になります。この時の流入水圧は0.3Mpaでした。 新型ノズルから水道水を噴射すると「ほんのり薄い白い濁り」に見えます。水よりお湯のほうが白く濁ります。これで十分マイクロバブルは発生しています。 詳しくはホームページをご覧ください。
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