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【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…
決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ1台で行うことができます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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