シグマ光機株式会社 サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持った位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。
ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ1台で行うことができます。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ

基本情報サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

最小分解能:50nm or 100nm
最大移動速度:10mm/sec(FC-411 or FC-111使用時)
ストローク:150mm
対応コントローラ:FC-411 or FC-111

■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FS-3150X FS-3150XY
用途/実績例 フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。

代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。
例)MEMSの検査時の位置決め
  光学系のディレイステージ
  顕微鏡ステージ

カタログサブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

取扱企業サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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