半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜薬液・超純水＞

薬液・超純水計測に適応した、接液部構造！薬液・洗浄水などの計測の用途事…

薬液・洗浄水などの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 薬液タンクのレベル計測から、薬液の吐出圧監視、 ライン圧監視などを実行。 洗浄工程における薬液・超純水の効率的な利用を 支えます。 【ウェットプロセス圧力計測分野】 ■超純水・高機能水 ■フッ酸・塩酸 ■スラリー ■レジスト液 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社

流量計/流量センサ(液体用)

冷却水・温水・純水や油などの流量測定に。配管を切らずに取付可能なクラン…

サはクランプオン式の超音波流量計です。配管外側へ簡単に取り付け可能で、非接触で測定できます。変換器は設置形（壁/パイプ取付）とハンディタイプ可能なポータブル形をラインナップ。鋳造工場の冷却水・温水・純水や油などの流量測定に最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 富士電機株式会社 パワエレ営業本部　プロセスオートメーション統括部

カルマン渦式流量センサー　「USL-20L」

検出方式はカルマン渦＋超音波センサー。振動に強く安定した流量検出が可能…

カルマン渦式流量センサー「USL-20L」は、接液部材質にはPFAのみを採用し、純水や薬液などオールマイティに計測が可能です。出力はアナログ出力(0～10V・1～5V・4～20mA)とパルス出力の2種類です。軽量・超コンパクト設計で、直接配管も容易、取付場所を選ばず配管が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

圧力センサー『CSシリーズ』

高圧用もラインアップ！用途に応じて表示付と表示無タイプの選定が可能

『CSシリーズ』は、純水用の圧力センサーです。 用途に応じて表示付と表示無タイプを選定いただけ、 表示付タイプは、表示モニター、プレッシャーセンサー、 プレッシャースイッチ機能を一体構造にしました。 リーズ...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社

漏水検知器

装置・電源・コンピューター等の設備に！漏水・浸水事故から守ります

当製品は、純水・酸・アルカリ溶液などの漏れも検出可能な漏水検知器です。 壁面取付型の「AD-AS-1AM」と盤内組込型の「AD-AS-1BM」をご用意。 センサはぬれると赤く発色しますので、ぬれた箇所の特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社

ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」

KMLシリーズは、純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高…

薬液槽の液面検出に適した”エア方式”で 薬液雰囲気による腐食や引火の心配がなく、半導体製造、化学プロセスに最適です ■ 腐食・防爆対策が容易 接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できます。 ■設置コストを削減 蒸気、飛沫、雫、温度、薬液（刺激臭、引火性、腐食性）の影響を受けないため、 対策費用が抑えらえれ、設置も簡単です。 ■ コンパクト 槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

クランプオン式超音波流量計CalorienaR2

ict社 高精度・温度計測機能 クランプオン式超音波流量計Calori…

【一般仕様】 ・測定方法：トランジットタイム計測方式 ・適用流体：水 超純水 気泡やパーティクルの無い液体など ・対応パイプ材質：鉄、ステンレス、鋳鉄、鋼、塩ビ、アルミ、ポリエチレン、アクリなど ・対応パイプサイズ：6A～1000A ・測定レンジ(流速)：0.000～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

サニタリ型圧力センサ『VHSシリーズ（ケーブル直出しS型）』

豊富なアナログ出力種類をご用意！各種酒類・乳飲料・調味料などに対応可能…

【測定概要】 ■測定媒体：各種酒類・乳飲料・調味料・純水・薬液等（センサ材質により異なる） ■測定種類：正圧・連成圧・負圧での測定が可能 ■測定範囲：定格容量50kPa～3MPa（校正レンジ25kPa～3MPa）範囲でご指定可能 ■出力種類 　・...

メーカー・取り扱い企業： ニッシン産業株式会社

内接挿入式超音波流量計　ULSONA ST(ウルソナST)

ict社 内接挿入式超音波流量計　ULSONA ST(ウルソナST)

【一般仕様】 測定流体：水、超純水、工事用水など 測定方式：トランジットタイム方式 適用パイプサイズ：80～300A 測定流速範囲：0.000～±30.000[m/sec] 流速分解能：0.001[m/sec]@300A ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

サニタリ演算型差圧伝送器『VSD4シリーズ』

封入液を使用しない安全・安心構造！ダンピング機能やループチェック機能な…

【測定概要】 ■測定媒体：各種酒類・乳飲料・調味料・純水・薬液等（センサ材質により異なる） ■測定種類：正圧 ■測定範囲：定格容量50～1000kPa範囲で指定可能 ■出力種類 　・4～20mA（ 2線式） 出力スケーリング可変式 　・出力スケ...

メーカー・取り扱い企業： ニッシン産業株式会社

流量計｜羽根車式微少流量計800、900、1000シリーズ

微少流量計測のために開発された流量計！

10ml/minからの微少流量を計測可能な200シリーズをはじめ、 微少流量計測のために開発された流量計です。 耐食性に優れた材質で、化学薬品や純水などの計測に対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： ハイテック株式会社

挿入型超音波流量計　ULSONA DT(ウルソナDT)

ict社 挿入型超音波流量計　ULSONA DT(ウルソナDT)

【一般仕様】 測定流体：水、超純水、工事用水など 測定方式：トランジットタイム方式 適用パイプサイズ： DT1:80～300A DT2:350～450A DT3:500～1000A 測定流速範囲：0.000～±20.00...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

直接挿入型超音波流量計NINJA ニンジャ

ict社 直接挿入型超音波流量計NINJA　ニンジャ

【一般仕様】 測定流体：水・超純水・工業用水等 適用パイプサイズ：85A～400A(JIS) 測定流速範囲：0.000～±10.000（m/sec） 流速分解能：0.003(m/sec) 測定精度：±1% RD (流速0.3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション