【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生

半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作…

製造工程の膜付前洗浄作業では硫酸・過酸化水素・純水の混合液Mを、 マーキング作業ではリン酸・塩酸の混合液Nを使用していました。 M液とN液は別々に処理していましたが、誤ってM液回収用のポリタンクに N液を投入したため、塩化水素ガスが発生。 ポリタンクから吹き出した白煙の塩化水素ガスがクリーンルーム内に 広がり、室内にいた3 名の作業者が目の痛みを訴え治療を受けました。 【提...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社