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有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機『E-70シリーズ』
マルチチャンバー化に対応可能!有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機
ズ:70x70 max ■ポンプ:ターボP ■蒸発源:8源 max ■同時蒸着:3源max 【構成】 ■本体(E-70Basic) ■ターボ排気 ■蒸発源 8式(同時2源) ■膜厚計センサー2式 ■膜厚計 1式 ■バルブ操作 スイッチ ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー
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真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です!
6mm) ○外部フィードスルー用ポート(NW40)3ポート ○真空排気ポート(NW40)1ポート ○最大基板サイズ:Φ110mm ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源:2源(同時2源) ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポンプ:ターボポンプ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー
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