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層間ズレの分析や露光フィルムの測定などこれ1台で行えます
『MVX-818』は、X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認や パターン座標測定を行う、X線透過式2次元測定機です。 露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・ 変形の分析が可能。 CCDカメラも搭載している為、X線では測定できない露光フィルムなども 測定ができ、工程ごとの分析を1台で行う事ができます。 【特長】 ■多層基板の製造工程...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ムラキ
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