【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生

半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作…

【事例概要】 ■発生場所 ・半導体素子製造工場でガリウム砒素ウエハーを製造しているクリーンルーム ■対策 ・廃液回収用ポリタンクは確実に蓋をし、又は適切な排気装置を設置するなどにより、 　ポリタンクから発生した化学物質の蒸気が作業室内に漏出しないようにすること ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社