BS/JEBG/EBG series 電子銃

光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏…

JEBG/EBG series 電子銃は、光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)です。 〇特長 ・蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。 ・水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

JEBG series 直進形電子銃・電源

電子ビームは広範囲に高速で走査する事ができます。

子銃・電源は、真空中で金属や酸化物を蒸着または溶解するための高出力の電子ビーム源です。連続的に走行する幅広の長尺フィルムや大面積のガラス基板上へハイレートで成膜します。また電子ビーム溶解用として、高融点金属のインゴット作製・精錬に使用されます。 〇特長 ・広範囲に高速で走査可能 ・様々なビーム照射パターンやエリアを作成可能 ・溶融面や膜厚分布の制御が可能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社