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【書籍】造粒プロセスの最適化と設計・操作事例集（No.2227）

PR【試読できます】★ 各種造粒のメカニズム、プロセス、操作パラメータ設定…

★ シミュレーション、AIを駆使した造粒プロセス最適化、連続生産システムの構築！－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント ●　造粒のスケールアップに必要な操作パラメータの適切な設定 ●　造粒装置・操作におけるトラブルと対策 ●　造粒物の粒度分布・粒子径・流動性・付着性の評価 ●　造粒のリアルタイムモニタリング、固形製剤連続生産システムの構築 ......

メーカー・取り扱い企業：株式会社技術情報協会
カールフィッシャー法水分測定技術セミナー

PR5年ぶりに対面式の復活！職場で今すぐ使えるポイント教えます

日東精工アナリテック株式会社は、対面形式での水分測定技術セミナーを 5年ぶりに開催いたします。カールフィッシャー(KF)水分測定法へのご理解をさらに深めていただくために、KF法の原理、KF試薬の選び方、日常のメンテナンスについての解説やアプリケーション例と合わせて詳しくご紹介いたしますので皆様の奮ってのご参加を心よりお待ちしております。ご用命の際は、当社へお気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：日東精工アナリテック株式会社
半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まっ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ること...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
MotionBoard事例：可視化による集中管理で生産性向上

MotionBoardは工場において不可欠のツール

また、生産実績の集計はExcelを用いて日次でしか行われておらず、翌日になってはじめて生産数が計画数に足りないことが判明するケースもありました。 ■課題・ホストコンピュータに集約された製造装置の稼働情報をリアルタイムに可視化したい・生産実績値の集計はExcel を用いて日次でしか行えていなかった ■効果・生産計画/ 実績をガントチャートで表示するダッシュボードを半日で開発 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
医療機器管理台帳システム『FLiPS』

薬事法及び医療機器安全管理指針に則した保守点検計画の策定及び実績管理を…

1)医療機器管理台帳 FLiPSでは機器管理台帳の項目を使用者が自由に設定できます。例えば保守点検計画表に必要となる「設置場所」「装置名」「機器区分」「機種名」「形式」「製造年月日」「購入年月日」「使用期限」「保守点検予定」「保守実施者」「責任者」「メーカー」「保守費用」「修理時間」といった項目の他に装置受入試験の際に必要な項目も...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
実験データのペーパーレス化ツールBIOVIA Notebook

【簡単導入！】シンプルな画面構成で直観的に操作ができる実験データのペー…

方におすすめ】 ■現在手書き書類や個人のEXCELなどで管理をされている方 (社内DX化が進む中、研究,開発などの実験部門でのでの取り組みが遅れている) ■DX推進を検討している方 ◆半導体装置開発,産業機器開発などさまなど様々な業界の開発者に適応 ◆実は重複実験が多い、失敗した実験の記録がわからない、データは個人管理なので共有されていない (記録方法の不統一による情報散逸や障害,破損...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
故障情報を元にしたライフサイクルコスト算出及び機会損失の低減

故障情報から施設、設備、機器、装置固有の故障特性を分析し、データベース…

データベース化　・ワイブル分析　・ベイズ統計　・MCMC法　・分析結果の数値モデル化/データベース化 ■運用中の設備における信頼性評価　・信頼性ブロック図(RBD)による設備、装置全体の故障率算出　・定性的リスク評価及びアクション、セーフガードの洗い出し　・リスク評価及びシステムの脆弱性、安全性評価 ■使用環境に応じた検討(※2) 　・最適なメンテナンスコスト、周...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
表面処理の特性予測ソリューション

複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

CAEソフトウェア・分子モデリング・分子シミュレーションソフトウェアを組み合わせることで、より広い解析対象をカバー！たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性などプラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！【解析対象となる物理現象】・結合と活性化・成膜・スパッタや浸食・脱離や洗浄　　　など【評価可能な表面特性例】・原料ガス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【資料】ストリーマー放電計算の最適化

「VizGlow」を使用し解説！説明変数と目的変数や最適化がどのように…

ついて詳しく解説しています。「ストリーマー放電計算」をはじめ、「説明変数と目的変数」、「最適化がどのように進むか」な掲載。最適化とシミュレーションを組み合わせる例として、プラズマ装置の動作条件の探索を行うため、プラズマ装置のシミュレーションには、当社取り扱いソフトの「VizGlow」を用いています。【掲載内容（抜粋）】 ■ストリーマー放電計算 ■説明変数と目...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』

従来では困難だった自動車用スパークプラグのアークプラズマ解析も可能なシ…

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。・遮断機・大気圧放電・点火プラグ(スパークプラグ) ・プラズマトーチ（プラズマジェット）・溶接・溶射・高輝度ランプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
予測モデル構築ソフトウェア『Neural Designer』

AI（深層学習）による予測モデル、サロゲートモデルを簡単に構築可能。日…

ートモデルとも呼ばれます）各種測定データ、各種シミュレーション結果を使用して、ニューラルネットワークによる予測モデルを構築。シミュレーションの大幅な時間短縮が可能です。また、各種装置や機械の運転条件や設定値の最適化にも有効です。【特長】 ■予測モデルの構築だけでなく、関係式の出力やサロゲートモデルの作成も可能 ■データ解析で行う欠損値の確認など基礎的な統計処理もワン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
誰でも今すぐ簡単に使えるAI『Neural Designer』

データはあるけど知識はない、知識はないけど使ってみたい、そんな企業様に…

言えません。 Neural Designerを使えば、マウスのみのGUI操作で簡単に、AIによる予測モデルを構築することができます。この予測モデルを利用して、シミュレーションの時間短縮、各種装置の運転条件や設定値の最適化などが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
製品改善、運転条件の最適化、予兆保全システム

シミュレーション、統計解析、機械学習技術を活用し、設備のフィールドデー…

全に関する知見を組み合わせ、データ収集・可視化から分析、製品の改善や運転条件の最適化、予兆保全に関わる仕組みの構築を支援致しております。主な対象設備としては・各種プラント・半導体製造装置・空調システム等が挙げられます。本検討にはお客様のご要望、目的に応じて以下のようなツール、システムを使い分け仕組み構築をサポートします。 ■1次元シミュレーションソフトウェア(...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
高速プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS/DL』

機械学習データをCAE解析モデルから生成！プラズマ解析での計算結果を手…

【こんな方にオススメ】 ■半導体関連装置メーカー ■プラズマ解析に興味がある方 ■CAE代理(サロゲート)モデルソフトに興味がある方 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
「CAE×AI」で業務効率化しませんか？

機械学習やAIを活用した業務効率化のお手伝いが可能！当社取扱いソフトや…

【当社解析事例（一部）】 ■深層学習関連・風力発電量のモデリング・ヨットの残留抵抗予測 ■プラズマ関連・DCマグネトロンプラズマ装置などの初期検討に活用 ■マテリアルズ・インフォマティクス関連・有機分子の物性予測へ適用・半導体材料の組成抽出へ適用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

専門知識を持った技術者がサポート！各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

AEソフトウェア」「分子モデリング」「分子シミュレーションソフトウェア」を組み合わせることで、より広い解析対象をカバー。調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性などプラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します。【特長】 ■各種解析ソフトを組み合わせる事で、表面改質への様々な取組が可能 ■実験できない範囲も解析が可能 ■プラズマ解析が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
『データマイニングによる異常検知と故障予知ソリューション』

設備や装置の異常検知や故障予知、品質向上に！手順をわかりやすくご紹介！

『データマイニングによる異常検知と故障予知ソリューション』は、電子計算機用ソフトウェアの開発販売、ソフトウェアを使用した解析、設計及びコンサルテーション等を行っている株式会社ウェーブフロントのデータマイニングサービス及びシステムの構築サービスです。当資料では、一般的なサービス実施のイメージと、当社が頻繁にご相談頂くような内容に置き換えた具体的なイメージをご紹介しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
MotionBoard事例：紙に記録していた状況をデジタル化

人手に依存していた工程管理をリアルタイムに可視化

◇ 着荷から荷捌き、検査、入庫までの一連の作業を可視化 ◇ 異常が発生した装置の場所をマップに表示 ◇ 多数のダッシュボードを統括する全社ポータルを用意 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【資料】ベイズ最適化

全体の形が未知の関数や微分ができない関数の最大値・最小値を探索的に求め…

です。当資料ではこの他に「FA分野での活用事例」や「システム連携・幅広い提案」「Pipeline Pilotの製品概要」などを掲載しております。【ベイズ最適化用途例】 ■各種装置の運転条件の最適化 ■各種材料の好適組成の探索 ■機械学習のハイパーパラメータ探索に利用 ■効率的に精度の良い学習モデルの発見 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても高速にシミュレーションを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
ICPにも対応解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社