光計測・検査装置『ウエハレベル光素子特性測定装置』

電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステム

『ウエハレベル光素子特性測定装置』は、VCSELやLEDなどの発光素子、 フォトダイオードや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハ レベルで解析するシステムです。 当製品は、セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用 プローバシステムと、当社の各種光計測用光学系 M-Scopeシリーズ、測定光源、 測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエ...

メーカー・取り扱い企業： シナジーオプトシステムズ株式会社