ウエハ搬送装置

検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム

当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。 （検査装置側との通信が必要になります） また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択　マニュアル搬送可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 達華産業株式会社