排水処理システム『排水処理膜ろ過システム』

PR二次汚染物が発生せず、豊富な排水処理実績を誇る排水処理システム！

『排水処理膜ろ過システム』は、ダイオキシン・重金属を除去する 排水処理システムです。 処理水は、繊細な超高圧ポンプにそのまま再利用でき、放流可能な レベルまで処理が可能です。 定期的に自動逆洗浄する機能がついている為、安定して高度な処理 水質を得ることができます。 また、焼却施設解体工事での環境負荷の低減・最終処分費の大幅コスト 削減に貢献します。 【特長】 ■環...

メーカー・取り扱い企業： セントラルフィルター工業株式会社

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。 ・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。 ・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。 ...・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

RF　スペクトラルメータ

RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り…

アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。 ...・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。 ・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー