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トレンチ深さ測定装置
広波長帯域の赤外線を干渉計に導き変調する。変調された赤外線を薄膜表面に照射すると、薄膜各層の界面から(多重)反射した光は光学干渉を起こす。干渉波形(インターフェログラム)は検出器にて観察され、これをフーリエ変換し反...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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シリコンブロック内部異物検査装置
IRB-30は、赤外線を使用し、シリコンブロックの内部異物(主にSiC, SiNなど)を検査する装置です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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