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トレンチ深さ測定装置
広波長帯域の赤外線を干渉計に導き変調する。変調された赤外線を薄膜表面に照射すると、薄膜各層の界面から（多重）反射した光は光学干渉を起こす。干渉波形（インターフェログラム）は検出器にて観察され、これをフーリエ変換し反...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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