フローコントローラー

全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です

ています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫